Přístroj pro přesné iontové leštění (PIPS model 691) od firmy Gatan umožňuje ztenčování vzorků proudem ionizovaného Ar, a to až na tloušťku v jednotkách nm.
PRINCIP FUNGOVÁNÍ PŘÍSTROJE
Iontovým leštěním jsou připravovány tenké folie z materiálů, které nelze elektrolyticky leštit. Při této metodě dochází k bombardování tenkého vzorku energetickými ionty nebo neutrálními atomy.
Základem aparatury jsou dvě iontové trysky, které jsou umístěny na opačných stranách vzorku. Argonový plyn vycházející z trysek v evakuované komoře vytvoří úzký svazek, který je urychlen v potenciálovém poli a nasměrován na rotující vzorek. Během bombardování může být vzorek chlazen na teplotu kapalného dusíku.
Iontové slešťování je nejuniverzálnější ztenčovací proces; používá se pro keramiku, vícefázové materiály, slitiny i další typy vzorků.
Výhodou přístroje PIPS jsou výkonná iontová děla a malý úhel dopadu (4°), což vede k minimálnímu radiačnímu poškození povrchu a zahřívání. Malý úhel dopadu odstraňuje problémy s nerovností povrchu, zatímco výkonná děla zajišťují dostatečnou rychlost ztenčování.